多晶硅超纯水设备的应用

很多的多晶硅上面审查需要对超纯水系统进行很多方面不了解这个问题,接下来艾柯纯水处理设备生产厂家带大家了解一下这个问题。

在多晶硅超纯水设备中主要是用于多晶硅片的清洗清理,多晶硅片以及半导体设备的生产都需要用到须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠等,引起严重漏电,颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。

纯化水设备

超纯水设备是指采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法,将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备,用于制取超纯水的机器,超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,这种水中除了水分子(H20)外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,超纯水无硬度,口感较甜,又常称为去离子水。

通过以上的介绍是不是了解了多晶硅超纯水设备有什么用了,多晶硅超纯水设备系统稳定度强,具有精度高,体积小、重量轻、功耗低等特点。