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集成电路生产用水的用途及水质要求
来源:艾柯超纯水机厂家    日期:2020-09-16    阅读()
随着大规模净化厂房的发展,超纯水系统已得到了越来越多的应用,如集成电路生产、医药工业的注射水。下表列出了集成电路生产用水的用途及水质要求:

 

类别 用途 水质要求
一般生产用水 1、一般洗涤用水 符合《生活饮用水卫生标准》(GB5749-85)
2、动力设备冷却水系统的补充水
3、制取软化水、纯水的原水
软化水 1、工艺生产设备冷却水系统的补充水 硬度<0.1mmol/L
2、锅炉用补充水
      纯水 初级纯水 1、工艺生产设备冷却水系统的补充水 电阻率>0.5MΩ.cm (25。)
2、空调用加湿水
3、锅炉用补充水
超纯水 1、硅片清洗 电阻率>18MΩ.cm (25。)等
2、化学剂配制
工艺生产设备冷却水 设备冷却 电阻率0.1~1 MΩ.cm经10μm过滤

纯水制取设备的主要任务是去除水中的溶解离子、有机物、微粒、细菌、溶解氧、二氧化硅等六类杂质。超纯水系统一般包括预处理-生成-精处理-回收四个阶段,其流程应根据用水水质要求、原水水质及运行管理、经济性等因素而确定,一般流程如下

原水箱-→水泵-→热交换器-→多介质过滤器-→碳滤器-→过滤器-→RO-1-→RO-2-→MB过滤器-→膜脱器-→纯水箱-→精混床-→UF-→用水点


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