半导体超纯水设备 保障半导体高质量发展

2023年4月28日 11:51

谈论起超纯水的复杂工艺,涉及多门学科,包括物理、化学、光化学、机械、空气动力学等,依各种原水水质和客户要求的不同,超纯水的制备工艺大体分为预处理、初级制备和抛光处理三个步骤。整个制造过程中采用的工艺技术复杂而精细,不容偏差,制备难度涉及至少...